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千亿国际唯一官方网站 CXF-200/1401

产品特点

节能：无摩擦，避免摩擦热损耗、较其它类型产品能耗降低30％
高效：更长的连续工作时间、高气流量和高抽速
灵活：紧凑型结构，满足更小的物理空间需求、任意角度安装，适合各种设计需求、丰富扩展功能，满足客户定制化需求

应用领域

科学研究加速器碳化硅晶体晶振光伏 Low-E玻璃镀膜 ITO镀膜光学镀膜装饰镀膜平板显示真空炉电真空新能源新材料真空干燥低温制冷薄膜沉积刻蚀离子注入光刻电子器件

技术指标
尺寸
产品特性
配件
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抽速速率（L/s）
N₂：1400 Ar：1360 He：880 H₂：560

压缩比
N₂：＞1E7 Ar：＞1E7 He：＞1E4 H₂：＞1E3

极限压强（Pa）
1E-6（橡胶密封） 1E-7（金属密封）

进气口法兰
DN200 ISO F（标配） DN200 CF(可选) DN200 LF(可定制)

排气口法兰
KF40

额定转速（rpm）
30000

启动时间（min）
≤6

停机时间（min）
≤16

安装方式
任意角度

冷却方式
水冷

推荐前级泵抽速（l/s）
≥16

推荐冷却水温度（℃）
20±5

供电电源（V AC）
220±10％，50Hz110±10％，60Hz

重量（kg）（ISO F）
51

冷却水流量（L/min）
2

最大瞬时入口流量（sccm）
N₂：1100

最大连续出口压强（Pa）
300

千亿国际唯一官方网站 CXF-200/1401 型一体磁悬浮分子泵的外形如图所示，外形对应尺寸详细数值见表。

千亿国际唯一官方网站 CXF-200/1401 型泵外形尺寸参数表（单位： mm ）

型号	千亿国际唯一官方网站 CXF-200/1401			千亿国际唯一官方网站 CXF-200/1401
入口法兰	ISO F			ICF
A	388.5	M	53	A	426	M	53
B	299.5	N	172	B	437	N	172
C	259.5	O	42 °	C	297	O	42 °
D	250.5	P	160	D	288	P	160
E	285	Q	155	E	253	Q	155
F	241	R	30 °	F	241	R	30 °
G	278	S	10	G	278	S	10
H	278	T	40	H	278	T	40
I	139	U	95	I	139	U	95
J	139	V	202	J	139	V	202
K	101	W	53.5	K	101	W	53.5
L	192			L	192

文件名	类型	语言	日期	文件大小

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